堀场乔宾伊冯公司专利技术

堀场乔宾伊冯公司共有7项专利

  • 用于原位测量样本的蚀刻深度的辉光放电光谱方法和系统
    本发明涉及一种辉光放电测谱法系统,该辉光放电测谱法系统包括辉光放电灯,辉光放电灯适于接纳固体样本(10)并且形成辉光放电蚀刻等离子体(19)。根据本发明,一种用于原位测量通过蚀刻样本(10)而产生的腐蚀凹口的深度的系统(100)包括:光...
  • 用于在流体隔室中转移流体样品的系统和方法
    本发明涉及一种用于在流体隔室中转移流体样品的系统,其包括第一和第二流体回路、第一注入部件(80),所述第一和第二流体回路分别连通到流体隔室(10)的第一和第二入口‑出口(1、2),所述第一注入部件(80)被配置为在所述第一流体回路(11...
  • 用于具有自适应光学系统的拉曼散射光学显微镜的系统和方法
    本发明涉及一种用于拉曼散射显微镜的光学设备,该光学设备包括:激光源(10),其适于以激发波长λ发射激光束(11);显微镜物镜(14),其适于接收激光束(11),并且将激光束聚焦到显微镜物镜(14)的像平面中,所聚焦的激光束(21)旨在照...
  • 用于光束扫描显微镜检查的设备和方法
    本发明涉及一种光束扫描显微镜检查设备,包括适配于发射光束(2)的光源和适配于将所述光束(2)聚焦在物平面(11)中的显微镜物镜(1)。根据本发明,所述显微镜检查设备包括:串联设置在所述光源和所述显微镜物镜(1)之间的所述光束(2)的光路...
  • 用于观察以及用于测量拉曼散射的设备和方法
    本发明涉及用于拉曼光谱学以及用于观察样品(7)的方法和光学设备,所述设备包括光学装置和光学分离装置,所述光学装置用于叠加具有光谱带B0的激励激光束(1)和具有光谱带BV的观察束(2)以便形成组合的激励和观察入射束,所述光学分离装置设置在...
  • 本发明涉及一种具有凹面衍射光栅的光学分光计,其包括:入射狭缝(3),适合于接收并形成包括至少一个波长λ的入射光束(5);凹面衍射光栅(1),适合于接收具有入射角α的所述入射光束(5)并衍射所述光束以形成衍射光束,所述衍射光束与所述光栅(...
  • 一种用于探测样品(1)的表面(2)光谱成像方法和系统。该光谱成像系统包括:高倍放大或低倍放大装置,其包括物镜(5);外壳(6),其包括光谱仪;以及扫描装置(11),其设置在高倍放大或低倍放大装置的物镜(5)与光谱仪之间,且能够沿两个方向...
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