本发明主要公开一种具高导热能力的钻石薄膜导电层结构，包括半导体磊晶层、形成于半导体磊晶层之上的多个凹型槽孔、以及覆于半导体磊晶层的表面上的散热导电层。在令多个凹型槽孔于半导体磊晶层的表面上具有大于或等于1×105个/cm‑2的槽孔分布密...