本发明涉及一种低压等离子体腔(12)，其具有由玻璃制成的优选正方形的低压等离子体腔本体(14)。本发明还涉及一种具有这种低压等离子体腔的低压等离子体设备以及一种用于制造低压等离子体腔的方法。低压等离子体腔可在低压等离子体腔本体的相对的侧...

实现一种电路设备（12），其用于提供高频能量以便在真空室（2）中产生放电、尤其用于等离子体产生，所述电路设备具有：直流电压电源（13）、升压转换器开关电路（16）和控制单元（17）。所述直流电压电源（13）提供直流电压（Ucc）。所述升...

本发明涉及一种真空设备(10)，特别是等离子设备形式的真空设备。所述真空设备(10)具有真空腔(12)。真空腔(12)构造成连续封闭的腔挤压型材的形式。腔挤压型材的第一端侧优选用板件封闭。腔挤压型材的与第一端侧相对置的第二端侧具有能可逆...

本发明涉及一种低压等离子设备(10)。所述低压等离子设备(10)具有处理腔(12)。所述处理腔(12)在第一处理步骤，即泵吸中，通过泵(14)来泵吸。在第二处理步骤中，即处理气体调整中，附加地打开气体供应阀(20)，以便在较低的压力下在...

本发明涉及一种等离子设备(10)。所述等离子设备(10)包括至少两个单独的部件，即用于要处理的物体(18)的器皿(14)和包括用于在器皿(14)中触发等离子体(26)的电的等离子源(19)的等离子单元(12)。等离子单元(12)不具有用...