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克朗纳公司专利技术
克朗纳公司共有1项专利
材料的沉积制造技术
通过一真空系统用来连续地在材料上沉积的装置和方法.所提供的盒式载体用于双衬底和激励电极.减少系统的污染和所加涂层的混合掺杂.
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