本发明的方法用于生成多维校准模型，该模型对于影响设备的测量结果的特性改变是稳定的，该方法包括以下步骤：形成用于计算修正关系的样本集；在引入改变之前和之后测量每个样本的主要特性；借助多维回归分析方法对引入改变之前所获得的样本的主要特性的测...