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J拉姆专利技术

J拉姆共有1项专利

用单复合靶制造涂层的方法技术

本发明涉及通过物理气相沉积（PVD）制备涂层的方法，其中在曲线阴极电弧放电中蒸发二元靶或具有两种以上成分的靶，使具有不同质量（元素）的离子分离，离子分离造成沉积室中在不同位置处不同质量（元素）的比率的变化。

最后更新日期：2012-05-27 00:17 访问量：212