一种通过硅前体消耗模式中的外延沉积与交叉流沉积来沉积薄的单晶硅晶片的系统，其可包括：具有低总热量、高发射率和小体积的衬底载体；具有快速升温、高效产热、和加热空间控制的灯模块；以及为交叉流处理而设计的歧管。此外，衬底载体可包括热反射器，以...

本发明揭示了一种能够在多块晶片上同时沉积薄膜的外延反应器。在沉积期间，许多晶片包含在晶片套内，所述晶片套包括许多晶片载盘，所述晶片载盘紧密相隔以使处理体积最小化。处理气体优先流入晶片套的内部体积，用一个或多个灯模组加热晶片套。吹扫气体在...

本文叙述了光伏模组，其包括与模组后板结合的多个太阳能电池，其中每一太阳能电池包括与光伏器件的前侧结合的上覆层，以便在该模组的制造过程中有助于处理非常薄的光伏器件。模组还可包括模组前板并且太阳能电池可包括底板。该模组可由柔性材料制成，并且...

一种通过硅前体消耗模式中的外延沉积与交叉流沉积来沉积薄的单晶硅晶片的系统，其可包括：具有低总热量、高发射率和小体积的衬底载体；具有快速升温、高效产热、和加热空间控制的灯模块；以及为交叉流处理而设计的歧管。此外，衬底载体可包括热反射器，以...

一种制造光伏(PV)电池板的方法，其中，在多块施体晶圆中的每一块的上表面上，形成一个分离层，例如，多孔阳极蚀刻硅。然后，把多块施体晶圆被层压到背面基板或前面板上之后，在每一块施体晶圆上，部分完成一块至少包含部分电池间互连的PV电池。然后...

本发明揭示了一种能够在多块晶片上同时沉积薄膜的外延反应器。在沉积期间，许多晶片包含在晶片套内，所述晶片套包括许多晶片载盘，所述晶片载盘紧密相隔以使处理体积最小化。处理气体优先流入晶片套的内部体积，用一个或多个灯模组加热晶片套。吹扫气体在...