精控气科江苏半导体有限公司专利技术

精控气科江苏半导体有限公司共有2项专利

  • 本发明属于气体监测技术领域,本发明公开的一种智能气体纯度监测系统,包括多维度传感单元、气体调节执行单元和人机交互单元,所述多维度传感单元采集气体纯度及关联工艺参数;所述气体调节执行单元执行气体纯度调节与工艺协同动作;所述人机交互单元用于...
  • 本发明属于工业气体储存与输配技术领域,本发明公开的一种气柜压力自平衡系统,包括测量单元、执行单元、多变量预测控制单元和人机交互单元,所述多变量预测控制单元包括平衡预测模型模块和协同优化模块,平衡预测模型模块创新性地采用图神经网络,将气柜...
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