京瓷技术公司专利

京瓷技术公司专利技术

京瓷技术公司共有3项专利

MEMS谐振器制造技术

一种MEMS(微机电系统)谐振器组件(100)，包括：支撑结构(102)、悬置在所述支撑结构(102)上的谐振器元件(101)以及用于将所述谐振器元件(101)激发到谐振模态的致动器。谐振器元件(101)以谐振频率f<subgt;...

最后更新日期：2024-08-02 13:45 访问量：25
MEMS谐振器制造技术

一种MEMS(微机电系统)谐振器组件(100)，包括：支撑结构(102)、悬置在所述支撑结构(102)上的谐振器元件(101)以及用于将所述谐振器元件(101)激发到谐振模式的致动器。所述谐振器元件(101)包括两个体声波谐振器(110...

最后更新日期：2024-07-30 18:42 访问量：20
温度稳定MEMS谐振器制造技术

一种MEMS(微机电系统)谐振器(150)包括衬底(105)、谐振器元件(100)和腔(110)。谐振器元件(100)通过上述腔(110)与衬底(105)分离，并且谐振器元件(100)包括单晶硅层(101)。单晶硅层(101)掺杂有磷原...

最后更新日期：2024-04-18 21:46 访问量：16