京城中安半导体设备北京有限公司专利技术

京城中安半导体设备北京有限公司共有2项专利

  • 本公开一实施例提供一种光学中继系统和检测设备。光学中继系统包括从入瞳至出瞳依次排列的物镜光学组件、孔径光阑和目镜光学组件,入瞳位于物镜光学组件的前焦面,出瞳位于目镜光学组件的后焦面,物镜光学组件的后焦点和目镜光学组件的前焦点相重合,孔径...
  • 本技术提供的光学器件调整架,包括动平板、镜架、转动体、弹性件及锁止件。镜架设置在动平板的一侧。镜架和动平板的彼此靠近的一面中的至少一者上设置锥面槽,转动体夹设在镜架和动平板之间且可在锥面槽内转动,弹性件分别与动平板和镜架连接。弹性件伸缩...
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