提供了一种在衬底上淀积具有多层结构和不同淀积速率的金属氮化物膜的方法，该方法包括以下步骤：以第一淀积速率在衬底上形成第一下层金属氮化物膜；以第二淀积速率在第一下层金属氮化物膜上形成第二下层金属氮化物膜；以第三淀积速率在由第一下层金属氮化...