本申请公开了一种垂直腔面发射激光器阵列及其光强均匀性设计方法，所述垂直腔面发射激光器阵列的发光区域为长条形，包括：衬底、第一分布式布拉格反射区、有源区、第二分布式布拉格反射区，以及设置于所述有源区或者所述第二分布式布拉格反射区的发光孔层...

本申请公开了一种光引擎及其制备方法，光引擎包括：中介层；多个VCSEL，通过倒装工艺集成在所述中介层上，用于发射具有不同波长的连续波激光信号；多条第一光波导，在中介层上加工而成，第一光波导包括光输入部、电光调制部、以及光输出部，光输入部...