江苏新璟宏能源科技有限公司专利技术

江苏新璟宏能源科技有限公司共有1项专利

  • 本发明提供一种提高异质结电池返工效率的方法,收集在PECVD、PVD工序的返工片清洗去掉TCO导电膜以及非晶硅薄膜后,进行采用浓度为1‑3%氢氧化钾清洗去除表面的有机杂质和金属颗粒,再采用1‑5%氢氟酸去除硅片表面的氧化层,并将硅片烘干...
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