一种低温冷阱，其被设置在真空容器中，并且具有通过冷却冷凝和排出气体的排气板和连接到致冷器并由此被冷却的冷却台，还包括固定在冷却台上同时保持与其热接触的冷却储存体和热连接／断开冷却储存体和排气板的机构。执行热连接／断开的机构具有可移动单元...

一种静电电容隔膜型压力传感器，其包括彼此相对设置的固定电极和隔膜，其中隔膜在外力作用下产生变形，并且从固定电极与隔膜之间的静电电容中获得压力，其中所述静电电容随隔膜的变形而发生变化，该传感器包括：包围传感器的主体的外壳；设在外壳内表面上...

本发明涉及一种低温泵设备及其操作方法，该低温泵设备，其包括：检测低温泵内的温度和压力中的至少一个的传感器；控制器，其基于通过传感器获得的检测结果检测低温泵内的温度和压力中的至少一个的变化，由此确定控制器与低温泵之间的连接状态；以及显示设...

本发明提供一种低温泵、低温泵单元、包括低温泵单元的真空处理设备以及低温泵再生方法，该低温泵再生方法，其包括升高低温板的温度以使冷凝在低温板的排气表面上的气体分子蒸发的升温步骤、抽空泵容器的抽空步骤、确定泵容器的内部压力是否已经达到比０℃...

一种冷却阱单元，包括真空容器、致冷器和冷却板，上述真空容器具有排水口，上述致冷器这样连接到真空容器上，以使吸热单元位于真空侧上，而上述冷却板固定到吸热单元上，以便与吸热单元紧密接触并使气体冷凝或固化，冷却阱单元包括蓄水单元和检测单元，当...