本发明公开了一种固体金属离子源装置，包括离子源弧室，所述离子源弧室内设有阴极帽、反射极、金属溅射源和隔离组件，所述阴极帽和反射极相对布置于离子源弧室内的两侧，所述阴极帽内设有灯丝，所述隔离组件包括外隔离件和内隔离件，所述金属溅射源套设于...