本发明涉及真空镀膜技术领域，且公开了一种复合金属膜蒸镀制备装置，包括真空腔体以及设置于所述真空腔体内的送料机构和收料机构，所述送料机构与收料机构之间传输基膜，还包括：等离子清理装置，设置于真空腔体内且位于基膜的输送路径上，所述等离子清理...

本发明涉及新能源复合铝箔集流体技术领域，且公开了一种抗拉超韧性复合铝箔的制备方法，包括以下步骤：将蒸发源组件与金属供料单元置于卷绕蒸镀设备的蒸发腔室内固定位置，将柔性高分子基材穿入卷对卷输送系统中形成连续蒸镀通道；在真空条件下对蒸发源组...

本发明涉及复合膜材料制造技术领域，且公开了一种耐电解液复合铝箔的制备方法，包括以下步骤：提供高分子基膜并进行表面预处理；对预处理后的基膜双侧同步实施金属氧化物界面层构建；在金属氧化物界面层上沉积第一金属结合层；在第一金属结合层上真空蒸镀...

本发明涉及真空蒸镀设备技术领域，且公开了一种可快速更换蒸发舟的辅助装置，包括底座和基座，还包括：电极分离机构，设置于基座上，用于驱动并推开正电极挡板，以在正负电极之间形成供蒸发舟装配的间隙；顶升定位机构，设置于底座上，用于将蒸发舟顶升并...