本发明涉及一种超声传感器，尤其涉及一种电容式微加工超声传感器（ｃＭＵＴ）。一个电容式微加工超声传感器，包括第一支撑层、结合在第一支撑层上的第一电极、第二支撑层和设置在第二支撑层上的第二电极，第二支撑层与第一支撑层通过弹性机构连接，其中，...

本发明涉及一种电容式微加工超声传感器，尤其涉及一种可进行无线遥感操作的电容式微加工超声传感器系统，其包括一电容式微加工超声传感器单元，用于接收操作把其接受到的外部能量转换成一个输出信号，并且，一个第一个天线用于无线遥感传输此输出信号。本...