本发明公开了一种ITOF相位法激光位移传感器，通过设置电源模块、控制模块、测尺信号产生模块、激光驱动模块和APD接收模块，主控单元接收测尺信号产生模块生成的多组测尺频率对，并控制第一激光单元和第二激光单元对每组测尺频率对进行测量得到对应...