本发明公开了一种半导体生产晶圆清洗机，涉及半导体制造技术领域，包括，机体，其内部设置有用于放置待清洗晶圆的清洗花篮，清洗花篮的内壁上对称设置有两组卡托件，卡托件至少包括，支撑轴，可转动地设置于清洗花篮内，支撑轴的轴线垂直于清洗花篮的前后...