纳米硅超高速开关管，是以低电阻率单晶硅为基片，其上方沉积一层掺杂纳米硅薄膜，构成纳米硅／单晶硅异质结构。该纳米硅超高速开关管具有优越的伏－安特性，击穿电压Ｖ↓［ｂ］可达１２０伏，反向漏电流Ｉ↓［ｒ］仅为（ｎＡ）量级。具有极好的温度稳定性...