衡陞科技股份有限公司专利技术

衡陞科技股份有限公司共有1项专利

  • 本技术提供一种机械手臂及检测微纳米元件的物理特征的检测装置。机械手臂包括一定位调整组件,其包括一滑轨组合件。滑轨组合件包括一滑轨顶盖及一弹性元件,滑轨顶盖的一滑轨容纳于一滑轨底座的一滑槽中,且弹性元件的两端分别固定至滑轨底座及滑轨顶盖。...
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