综合利用废硅粉生产三氯氢硅的设备，包括三氯氢硅合成炉混合气出口管道连接高效旋风分离器，高效旋风分离器的出料口与硅粉回收罐连接；高效旋风分离器的出气口连接一级旋风分离器，一级旋风分离器的下方设有一级存渣罐，一级旋风分离器的出气口连接二级旋...