合肥艾凯瑞斯智能装备有限公司专利技术

合肥艾凯瑞斯智能装备有限公司共有8项专利

  • 本技术公开了一种全自动划片机清洗系统,包括清洗罩和底座罩,底座罩底部设有下开口,清洗罩顶部设有上开口,清洗罩顶部设有气幕组件,底座罩底部设有升降组件,升降组件穿过下开口并控制清洗盘安装板的升降,清洗盘安装板上设有夹持组件,底座罩底部贯穿...
  • 本技术公开了一种适用于划片机的可调式喷水罩装置,包括安装于主轴上的刀片,以及位于刀片外围的喷水罩,喷水罩底部左侧设有前后喷机构,喷水罩右侧壁连接有侧喷机构,侧喷机构包括侧喷安装板,侧喷安装板包括安装于竖板外侧底部的安装块,喷水罩右侧壁设...
  • 本发明公开的属于划片机技术领域,具体为一种应用于晶圆的全自动划片机,包括划片机组件,还包括:用于对晶圆进行上下料的上下料组件,且上下料组件设在划片机组件上,用于对晶圆进行清洗的清洗组件,且清洗组件设在划片机组件和上下料组件上,用于对晶圆...
  • 本发明公开的属于Y轴运动技术领域,具体为一种应用于晶圆划片的Y轴运动平台,包括Y轴底座,所述Y轴底座的底部两端均固定安装立柱,还包括:直线电机,所述直线电机固定安装在Y轴底座的侧面上,所述直线电机的两端均设有Y轴滑台,所述第一导轨固定安...
  • 本发明公开了一种压电陶瓷的转台调平装置及工作方法,Y轴移动机构前侧可滑动设置有Z轴移动机构,Z轴移动机构下端滑动设置有连接组件,连接组件下端固定安装有视觉系统;Y轴移动机构背侧固定安装于横梁上,横梁两侧底部固定安装有立柱,立柱底部与底座...
  • 本实用新型涉及一种用于半导体晶圆划片机的推料装置,推料装置包括推料支架、走线拖链、上推料气缸、下推料气缸、第一滑动组件和第二滑动组件,下推料气缸和第一滑动组件均固定设于推料支架上,上推料气缸与第二滑动组件相连,第二滑动组件滑动连接于第一...
  • 本实用新型涉及一种用于半导体晶圆划片机的机械手夹料装置,其包括上下气缸、旋转组件和抬料组件,旋转组件包括旋转气缸安装座、旋转气缸和转盘,抬料组件包括抬料夹爪安装板和数个抬料夹爪,旋转气缸安装座固定设于抬料夹爪安装板上,且旋转气缸安装座顶...
  • 本发明涉及一种用于半导体晶圆划片机的自动上下料装置,其包括型材机架,型材机架顶部设有上料底板,还包括设于上料底板上方的机械手臂机构、夹料机构、推料机构、圆环料盒机构和设于上料底板下方的升降机构,推料机构的下方设有与圆环料盒机构连通的料盘...
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