本发明提供一种用于通过测量探头(11)测量薄层厚度的方法和 设备，测量探头(11)具有保持至少一个其纵向轴线平行于壳体(14) 的纵向轴线(16)或位于该纵向轴线上的感测器元件(17)的壳体(14)， 其中至少在测量过程中，气态介质在测...