本发明涉及一种使显微镜自动聚焦的系统和方法。该系统通过使用至少两个相机来促进更快聚焦。第一相机可以设置在第一成像共轭平面中，并且从发射第一波长范围内的光的第一照明源接收光。第二相机可以设置在相对于第一成像共轭平面的偏移距离处，并且从发射...

一种用于光学显微镜的自动聚焦系统，该自动聚焦系统通过使用至少两个相机来促进更快聚焦。第一相机可以设置在第一成像共轭平面中，并且从发射第一波长范围内的光的第一照明源接收光。第二相机可以设置在相对于第一成像共轭平面的偏移距离处，并且从发射第...

提供了用于对晶圆和光掩模进行组合检查的系统、装置和方法。在一些实施方式中，提供了一种卡盘，该卡盘包括：可去除插入件，其中，所述可去除插入件被配置为当所述卡盘处于第一配置时支撑晶圆，使得所述晶圆的检验表面位于聚焦范围内，其中，在所述第一配...

一种显微镜系统及方法，其允许沿着试样扫描的期望x’方向从XY平移台的x方向成角度地偏移，并旋转与显微镜关联的图像传感器以将图像传感器的像素行基本上平行于期望x’方向布置。确定x’方向相对于x方向的偏移角度并利用XY平移台来使试样相对于图...

本发明提供一种用于使用成像系统对样本的表面进行成像的方法，该成像系统利用具有暗场通道和明场通道的BD物镜，BD物镜具有圆周。使用第一弧形照射光通过暗场通道倾斜地照射样本，第一弧形照射光遍布圆周的第一弧倾斜地照射样本。从样本表面反射出来的...