一种蚀刻设备的反应槽装置的上电极，包含一个电极板，及多个嵌装固定于电极板中的陶瓷管。该电极板包括一个电极本体，该电极本体底面穿设有多个气孔，陶瓷管与气孔连通地分别同轴塞装固定于气孔中。通过在该电极本体的气孔中分别塞装陶瓷管的结构设计，可...

一种静电式夹具，包含一个夹持本体、一个电极，及一个烧结型结晶陶瓷管。该夹持本体包括一个基材、一个叠置在该基材的顶面且供该电极埋置的静电吸附层，及一个贯穿该基材与该静电吸附层的气体通道，该气体通道具有一个贯穿该静电吸附层且延伸入该基材的顶...