本技术公开了一种石墨烯纳米复合薄膜沉积装置，包括圆柱形体、多通道气体分配器、可旋转基材托盘、气溶胶喷射模块及磁控溅射组件，所述圆柱形体的内部为真空腔体，所述多通道气体分配器通过法兰盘固定安装在圆柱形体的顶端，所述圆柱形体的底端通过法兰盘...