本发明涉及一种基于限束孔与上游差分抽气的辐射束线吹扫结构，包括：束线通道，用于供辐射沿轴向传播；至少两个限束孔，沿束线通道的辐射传播方向间隔设置，包括第一限束孔与第二限束孔；气体引入口，用于向束线通道内引入吹扫气体；抽气口，设置于气体引...