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杭州欣和智控科技有限公司专利技术
杭州欣和智控科技有限公司共有1项专利
一种高纯五氯化钽稳定输送装置制造方法及图纸
本发明公开了一种高纯五氯化钽稳定输送装置,包括供料罐、储料罐、称重传感器、载料气气源和汽化器,供料罐与抽真空装置相连,储料罐与供料罐用输料管相连,出料控制机构包括出料管腔、螺杆输料组件,出料管腔设有出料口、进气口、与供料罐相连通的进料口...
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