本技术公开了基于氮化硅多锥形波导的O波段端面耦合器，其特征在于：所述的波导层由三个双锥形输入波导、两个双锥形波导、单锥型波导以及与单锥型波导连接的直波导组成合成；本技术通过双锥形输入波导、双锥形波导和单锥型波导的多锥形结构的引入，有效降...