本发明关于一种表面形貌及缺陷多模式显微检测系统，涉及晶圆测量及检测领域。通过集成衍射相位显微技术、共焦显微技术和白光干涉扫描技术，实现了形貌参数测量及缺陷检测的多功能同位量测。并且，采用共光路设计减少定位误差，提高测量精度，结合高精度运...

本发明公开了时间平均全息法振动形变测量的光学材料缺陷识别方法，涉及数字全息测量技术领域，所述光学材料缺陷识别方法具体包括如下步骤：将光学材料简化为圆形薄板，获取所述圆形薄板的表面缺陷对于振幅的影响；获取所述圆形薄板在正弦振动激励下改变曝...