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海南启仓投资有限公司专利技术
海南启仓投资有限公司共有1项专利
一种单晶型SiC长晶装置制造方法及图纸
本技术提供了一种单晶型SiC长晶装置,包括:炉体和加热装置;所述的炉体内设置有石墨坩埚,所述石墨坩埚的外表面包覆有隔热材料;所述的加热装置包括线圈,所述的线圈位置可沿着炉体的轴线方向移动,并可分层控制线圈的电流和/或电压;工作状态下,炉...
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