本发明公开了一种对辐射敏感的基片（１７）成像用的方法，其中在应用具有以下波长的相干辐射（２）的情况下把可编程模板（６）投影在辐射敏感的基片（１７）上，在所述波长时该基片（１７）是辐射敏感的。通过声学－光学或电光学偏转单元（１１）这样地同...

本发明涉及一种用于把掩模（１）投影到衬底（２）上的方法，其中借助于一个照明单元（８）和一个光学单元（９）把所述掩模（１）投影到所述衬底（２）上。此外本发明还涉及一种用于执行所述方法的装置。应如下构造所述方法和装置，即用高的工作可靠性把所...

一种用于可移动测量目标，特别是反光镜或反光器的光学位置确定的方法。其中一种借助光源（２）产生的测量光束（６）被测量目标（１０）反射到一个位置灵敏光探测器（１２）上，借助该光探测器实施一个对应于测量目标（１０）位置的信息转换。本发明的任务...