本发明属于半导体加热膜技术领域，具体涉及一种远红外稀土纳米薄膜加热管及其生产方法和加热装置。该方法包括如下步骤：1)获取基材、吸附薄膜液和半导体前驱液；2)将基材热处理后，将吸附薄膜液负载到基材上，加热反应，得到具有Al<subg...