本发明公开了一种基于多原理传感数据的三维表面形貌接触式探针系统，包括接触式探针单元、光杠杆传感器、电容传感器、纳米位移执行机构、信号融合处理模块和控制与反馈模块；接触式探针单元包括转轴和固定于转轴近端的探针；光杠杆传感器中的反射镜与激光...