本实用新型公开了一种可调式真空夹具，涉及夹紧装置。本实用新型可调式真空夹具，包括用于放置被测件的测试台、设置于所述测试台上的多个气孔单元、与所述多个气孔单元相通的真空管道以及与所述真空管道相连的真空发生器。由于本实用新型可调式真空夹具中...

本发明公开了一种干法刻蚀设备及刻蚀方法，涉及刻蚀设备技术领域。本发明干法刻蚀设备包括用于放置至少一个被刻蚀件的托盘、用于对所述至少一个被刻蚀件进行刻蚀的刻蚀单元、收容所述托盘的壳体以及与所示壳体相连接的真空发生器，所述托盘上安装有至少一...

本发明公开了一种折射率匹配液，包括以下重量份数的原料：聚乙二醇1-99.9份及稀释液或乳化剂0.1-99份。本发明的折射率匹配液，采用聚乙二醇作为基液，与稀释液或乳化剂混合制成，其成本低，制作简单；具有较好的稳定性、流动性，较小的表面张...

本发明公开了一种折射率匹配液，包括以下重量份数的原料：丙三醇1-99.9份及表面活性剂0.1-99份。本发明的折射率匹配液，以丙三醇作为基液，表面活性剂作为辅助剂，具有较好的稳定性、流动性及较小的表面张力；且成本低、制作简单，使用效果好。

本发明公开了一种可调式真空夹具，涉及夹紧装置。本发明可调式真空夹具包括用于放置被测件的测试台、设置于所述测试台上的多个气孔单元、与所述多个气孔单元相通的真空管道以及与所述真空管道相连的真空发生器。由于本发明可调式真空夹具中在测试台上设置...