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广东如动纳米科技有限公司专利技术
广东如动纳米科技有限公司共有2项专利
团簇离子束纳米加工设备控制装置及其控制方法制造方法及图纸
本发明提供了一种团簇离子束纳米加工设备控制装置及其控制方法,包括系统控制板、人机交互模块、过程控制模块、数据采集模块、纳米加工控制模块以及物料输送模块,所述人机交互模块、过程控制模块、数据采集模块、纳米加工控制模块以及物料输送模块分别与...
团簇离子束纳米加工设备及其加工方法技术
本发明提供了一种团簇离子束纳米加工设备,包括进料装置、分级负压发生器、主轴电机、压力腔、物料预处理单元、纳米团簇离子束单元、纳米团簇粒径实时检测单元、出料装置以及电气控制系统;还提供了一种团簇离子束纳米加工方法,包括对所述物料进行预处理...
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