本发明公开了一种用于PVD涂层设备的离子刻蚀装置，包括辅助阳极、主备用双组钨丝加热模块、惰性气体定向引入模块、真空与电连接模块和控制与保护模块。本发明通过主备用双组钨丝设计与自动交叠切换策略，确保在一组钨丝失效时能无缝切换至备用组，有效...