本发明公开了一种洁净室抗微振结构，包括：多个结构立柱、防静电地板、防微振平台结构及OHS运输系统；本发明在普通的地基基础方案中，提出一种设计多变材料和多变刚度结构形式复合协同作业，通过延长振动传递路径，逐级消耗外界振动源传递至振敏对象途...