本发明提供了一种具有精确控制的悬臂间隙的集成NEMS悬臂传感器，具有附接以桥接所述间隙的受体。当所述受体与目标分析物相互作用时，它改变构象，从而引起所述间隙的变化。所述传感器内的检测器生成对应于间隙尺寸的变化的信号，从而确认与所述分析物...