本发明提供用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置以及采用这种装置的真空蒸镀方法。利用同时具有电磁铁和永磁铁的荫罩板安放工作台，在排列时可以使玻璃基片和荫罩板平行配置，使用３轴位置移动装置可在荫罩板安放工作台上正确排列，排列后利用包括永磁铁...

提供一种制造电致发光显示装置用设备的荫罩板装卸装置，能通过控制永磁铁和磁铁之间的磁场强度的增加或减少，能使荫罩板随意在荫罩板夹具上装卸。该制造电致发光显示装置用设备的荫罩板装卸装置的结构是由荫罩板夹具Ｈ和荫罩板安放工作台Ｔ组成。荫罩板夹...

本发明涉及气相有机材料沉积方法和使用该方法的气相有机材料沉积设备，该设备可以通过如下方式在更宽基材上均匀地快速生长薄膜：使用安装在该设备上侧的喷雾单元在重力方向喷雾气相有机材料和通过使用稀释气体作为沉积材料和连续携带少量热源到扫描头而精...