本实用新型公开了一种用复合工艺进行氦气提纯的装置系统。该用复合工艺进行氦气提纯的装置系统包括预处理模块、第一段分离膜模块、第二段分离膜模块、变压吸附模块及变温吸附模块；原料气源连通所述预处理模块，原料气经过依次相连通的所述预处理模块、第...

本发明公开了一种用复合工艺进行氦气提纯的装置系统。该用复合工艺进行氦气提纯的装置系统包括预处理模块、第一段分离膜模块、第二段分离膜模块、变压吸附模块及变温吸附模块；原料气源连通所述预处理模块，原料气经过依次相连通的所述预处理模块、第一段...