本发明涉及数据处理技术领域，尤其涉及一种高纯电子级三氟化硼气体的检测方法，该方法实时获取水分浓度数据序列，并获取水分浓度数据序列中的至少两个相位子序列，根据每个相位子序列的数据波动特征将所有相位子序列的两侧端点划分为波动端点和平稳端点；...

本发明涉及数据处理技术领域，尤其涉及一种用于微量杂质识别的硼‑11电子气体分析方法，该方法获取当前监测时刻下存放硼‑11电子气体的容器内每种气相元素浓度的历史时序数据序列；对每个历史时序数据序列进行周期性划分，得到每个数据段中的疑似异常...