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F萨欣诺马勒专利技术
F萨欣诺马勒共有1项专利
磁性轴承、旋转台以及反射电子束光刻设备制造技术
本发明涉及一种具有旋转轴(106)的磁性轴承(108),其中,所述磁性轴承包括:圆柱形转子(116),其包括铁磁性材料(118,338,440),其中圆柱形转子具有对称轴(114),圆柱形转子具有内半径(124),圆柱形转子具有顶面(1...
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