冯阿登纳真空设备上海有限公司专利技术

冯阿登纳真空设备上海有限公司共有1项专利

  • 本发明提供的用于气体交换系统的安装基座、气体交换系统和方法,涉及真空系统技术领域,该安装基座包括进气端口和气体检测组。气体检测组包括:分配导管、供应支管以及出气支管。出气支管包括:出气端口、将流量控制器安装至安装基座的第一控制器端口和第...
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