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菲卢克斯科技有限公司专利技术
菲卢克斯科技有限公司共有3项专利
雪崩光电二极管器件制造技术
本发明涉及雪崩光电二极管(APD)子组件和APD器件(200)。APD子组件包括:衬底(201);形成在衬底(201)上的n‑型接触层(203);p‑型接触层(202);以及包含锑的雪崩层(206)。雪崩层(206)被设置在n‑型接触层...
雪崩光电二极管器件制造技术
本发明涉及雪崩光电二极管(APD)子组件和APD器件(400)。APD子组件包括:衬底(401);形成在衬底(401)上的第一接触层(403);第二接触层(402);以及包含锑的雪崩层(406)。雪崩层(406)被设置在第一接触层(40...
雪崩光电二极管器件制造技术
本发明涉及雪崩光电二极管(APD)子组件和APD器件(100)。APD子组件包括:衬底(101);形成在衬底(101)上的p‑型接触层(102);n‑型接触层(102);以及包含锑的雪崩层(106),雪崩层106被设置在p‑型接触层(1...
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