本发明涉及一种用于获取机械状态变量的传感器元件，其包括至少一个光波导，在光波导内引入至少一个光纤布拉格光栅，传感器元件包括至少一个平面光学滤波器元件，从光波导发出的光能够被供至平面光学滤波器元件，传感器元件还具有至少一个测量装置，测量装...

本发明涉及涂布设备，其包含至少一个用于接收基材的可抽真空的接收装置、至少一个可将至少一种气态前体导入接收装置中的气体供应装置以及至少一个具有可预先确定的纵向长度并利用至少一个所属的机械固定装置加以固定的可加热的活化元件，其中经由至少两个...

本发明涉及涂布设备，其包括至少一个可抽空的接收部，所述接收部用于接收基底；至少一个气体供应装置，其将至少一种气态前体引入到所述接收部中；以及至少一个活化装置，该活化装置包括至少一个可加热的活化部件，所述活化部件的末端被紧固到保持部件的紧...

本发明涉及涂布设备，其包括至少一个接收部，该接收部可以被抽空并且用于接收基底，至少一个气体供应装置，通过该气体供应装置至少一种气态前体可被引入至接收部，和至少一个可加热的活化部件，该活化部件具有可预定的纵向区域并且通过至少一个专用的机械...