一种基于二维超表面的新型垂直腔面发射激光器及其制作方法，涉及半导体技术领域，具体属于一种基于二维超表面的新型垂直腔面发射激光器及其制作方法。包括沿中心轴方向依次设置的衬底、第一分布式布拉格反射镜组、第一N型电极层、埋地隧道结、包层P型电...