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E许贝尔专利技术
E许贝尔共有1项专利
薄层的受控电解处理的方法和装置制造方法及图纸
本发明涉及一种用于电镀材料(1)的方法和装置,包括在材料边缘区域处的电触头,尤其是用于在杯式电镀机中电镀衬底,例如作为晶片。在薄的起始层和在直径大的材料情况下,按照现有技术的方法产生径向的层厚差。最大值位于边缘区域中。为了获得平整的沉积...
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