本发明一种容积可控式离子热处理装置，包括炉罩、分装炉体、阴极盘。分装炉体上端和阴极盘上端均开有密封槽，阴极盘与分装炉体之间、分装炉体与分装炉体之间及分装炉体与炉罩之间均由密封圈连接，在各个分装炉体和炉罩上均有两个把手，通过把手可以方便的...